核心技術(shù)
典型超純水設(shè)備清洗用半導體清洗用水主要應(yīng)用于電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)配料用純水、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水、液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗典型超純水設(shè)備,另有少量用于藥液配制,集成電路生產(chǎn)中高純水清洗典型超純水設(shè)備。
典型超純水設(shè)備工藝流程
預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)傳統(tǒng)工藝
超純水設(shè)備
預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)新工藝
預(yù)處理-一級反滲透-加藥機(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17MΩ.CM)新工藝
預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)新工藝處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)傳統(tǒng)工藝。