隨著電子半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展,電子半導(dǎo)體行業(yè)對產(chǎn)品的生產(chǎn)要求也是越來越高,生產(chǎn)用水也是需要用極高的超純水。電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
半導(dǎo)體是一種介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料,在半導(dǎo)體加工過程中需要使用水進(jìn)行處理,該水質(zhì)的要求比較高,不能含有任何離子雜質(zhì)。半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備采用先進(jìn)的制水技術(shù),有效去除水中雜質(zhì),保證設(shè)備的出水水質(zhì)。
超純水設(shè)備應(yīng)用范圍
1、電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗。
2、電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液。
3、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水。
4、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管徑清洗用純水。
5、液晶顯示器的生產(chǎn)、平面需用純水清洗及純水配液。.
6、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
7、集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片、高品質(zhì)顯像管、熒光粉生產(chǎn)。
8、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路。
9、LCD、LED液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏。
10、超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料、實(shí)驗(yàn)室和中試車間。
11、汽車、家電表面拋光處理、光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品。
電子半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備制備工藝
1、預(yù)處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
2、預(yù)處理-一級反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
4、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
以上是半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的簡單介紹,北京惠源三達(dá)公司有著雄厚的技術(shù)力量及豐富的工程實(shí)施經(jīng)驗(yàn),為客戶量身制作適合的解決方案。